1. 設(shè)備上下硅片集成于一體,減少了人工搬運石英舟或者塑料花籃的勞動強度,也提高了整體的上下料速度,對于產(chǎn)能相對較少的車間可能一臺機就夠了,不必要非得上料機和下料機相互搭載;
2.設(shè)備引入了視覺檢測石英舟載具的位置和硅片位置的系統(tǒng),使硅片往石英舟內(nèi)部導(dǎo)入時能夠安全可靠,即使因為機械結(jié)構(gòu)的松動或者其他故障造成的偏離也能確保硅片安全,降低碎片率。
3.真空吸片的機構(gòu)采用多段獨立式真空吸取機構(gòu),使吸片模塊即使只吸住一片也能穩(wěn)定可靠,而傳統(tǒng)的一般少于40片就吸不牢固了。
4.硅片移動伺服及石英舟移動伺服的位置采用實時記憶反饋功能,其實際的位置處于監(jiān)控之中,一旦偏離即會自動矯正,多次矯正依然無法歸位即報警,相對傳統(tǒng)純粹靠外部傳感器檢測的方式多了一道保護屏障。
十、其它承諾:
1.安裝:我方向現(xiàn)場施工人員提供關(guān)于設(shè)備安裝所需的所有細節(jié),以便用戶準(zhǔn)備現(xiàn)場,為設(shè)備安裝做準(zhǔn)備。我方負責(zé)設(shè)備安裝