天津微納制造技術有限
公司于2005年11月在天津經濟技術發區(泰達TEDA)注冊成立,隸屬于天津大學。公司坐落于泰達天大科技園園區內,一期規劃占地2000平方米,是微納制造領域的高新技術企業。天津微納制造技術有限公司引進海外管理與技術骨干構建核心團隊,依靠泰達良好的產業化環境和天大科技園技術創新的孵化機制構成創業優勢,以微納制造領域的一流企業作為自己的發展目標,將為拉動以天津濱海新區為核心的環渤海經濟圈的先進制造技術發展發揮重要作用。
天津微納制造技術有限公司重點發展光學及光電子儀器及系統、生物及醫療儀器與設備、高技術日用品、航空航天及計算機外圍設備等領域中的核心、精密及微小器件的研發、加工和制造。在非球面及自由光學曲面加工、脆性材料加工、聚焦離子束加工(FIB)、超精密加工及測量等方面具有雄厚實力,將為來自科研機構與工業界在高精度、復雜形面、及微小元器件的需求提供高質量的設計、加工、檢測、技術咨詢、產品制造、售后咨詢及維護等服務。
天津市微納制造技術工程中心經天津市科委批準,于2006年12月組建。中心以天津微納制造技術有限公司作為依托企業和運行實體,中心與公司采用MNMT作為一致的標識進行商標注冊,并以此為基礎建立統一的CI體系。天津大學作為MNMT的科研依托單位,以精密儀器與光電子工程學院及掛靠其下的精密測試技術及儀器國家重點實驗室為MNMT提供原創性科研、技術以及人員方面的支撐。
天津市微納制造技術工程中心,旨在研究與開發非球面及自由光學曲面加工、脆性材料加工、微納加工、超精密加工及測量技術,從而形成基礎研究與產業化的平臺。其自有技術開發、項目委托開發、成果轉化及技術服務等為相關科研院所和高技術企業突破制造技術瓶頸,實現大規模生產奠定基礎,而且可打破國外企業在相關領域的壟斷地位,形成高精度及微小關鍵元器件國產化的格局,帶動高技術產品制造產業鏈的形成。
聚焦離子束技術(FIB)是一種集形貌觀測、定位制樣、成分分析、薄膜沉積和刻蝕等過程于一身的新型納米加工與分析技術。MNMT利用聚焦離子束技術,能夠進行聚焦離子束刻蝕加工,同時可實現在線電鏡高分辨率檢測;通過氣體注入系統進行鉑沉積,結合樣品微操作裝置,可進行微/納結構與器件的制備和結構優化研究。主要應用包括高精度復雜微/納結構和器件、微刀具、碳納米管器件及TEM樣品制備等。目前,MNMT已經成功開發了西門子星、小于100nm線寬的納米掩模、生物光學芯片及微納衍射光學元件等高精度難加工關鍵器件。 應用范圍:
?高精度復雜微納米結構和器件的加工與制造
?微電子集成電路的缺陷檢測分析和修整
?TEM樣品的制備和提取
?微納米生物芯片和光學器件加工
?微刀具制造
?微機電系統(MEMS)加工
同步實現FIB加工和SEM(掃描電鏡)測量,具備納米加工-納米原型設計-2D/3D納米表征-納米分析(包括:3維重構、STEM分析、能譜分析等)能力,實現微/納米元件(如三維微/納結構、微刀具、碳納米管器件等)的制備和性能檢測。