英福康皮拉尼復合真空計

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BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計益處

• 測量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
• 皮拉尼聯鎖保護單絲，防止過早燒毀
• 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
• 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保高再現性
• RoHS 合規

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計典型應用

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
• 工業鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復合真空計選型：

零件號

BPG402-S
零件號	說明
353-570	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S 真空計
353-573	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD 型真空計
353-577	BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

附件

BPG402-S
零件號	說明
353-511	BPG400 24V電源
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

備件

BPG402-S
零件號	說明
354-494	BPG402 感應器
354-495	BPG402 Spare measurement system DN40CF-R